關于導電滑環(huán)在單晶爐構成方面的應用,今天深圳市九江英智電子有限公司小編跟大家分享一下:
單晶爐是一種在惰性氣體環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。單晶爐的構成主要包括:
1,提拉頭:主要由安裝盤 減速機 籽晶腔 劃線環(huán) 電機 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管、導電滑環(huán)等其他部件組成
2,副室:主要是副室筒以及上下法蘭組成
3,爐蓋:副室連接法蘭,翻板閥,觀察窗 抽真空管道 組成
4,爐筒:包括取光孔
5,下爐筒:包括抽真空管道
6,底座機架:全鑄鐵機架和底座
7,坩堝下傳動裝置:主要由磁流體 電機 坩堝支撐軸 減速機 軟波紋管 立柱 上下傳動支撐架 導軌 等部件組成
8,分水器已經(jīng)水路布置:包括分水器,進水水管,若干膠管 水管卡套等
9,氬氣管道布置:質量流量計 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個壓力探測器 高密封性卡套 等部件
10,真空泵以及真空除塵裝置:油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管等
11,電源以及電控柜:電源柜 濾波柜 控制柜 以及連接線。
導電滑環(huán)作為單晶爐上一個重要的零配件,也起著非常重要的作用。導電滑環(huán)是用于提拉頭信號傳輸及電源供給的,通過360°的旋轉來傳遞電流及信號。所以一旦導電滑環(huán)出現(xiàn)故障,提拉頭信號就無法正常傳輸,就會導致單晶爐無法正常運作。更多精彩內(nèi)容請您持續(xù)關注:http://garage-media.com/news
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